一般要求：无加工剂、无颗粒、无污渍（根据亮光和紫外线检测结果）
微米和纳米范围的特殊要求
与残留有机物或残留水分有关的极限值
原子/分子限值在原子%范围内或明显低于该限值
High Purity Cleaning Brochure
High Purity Test Center Brochure
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