用于 EUV 和 DUV 光刻的组件
晶圆扫描仪
沉积系统
高真空泵和阀门
高功率激光器（高功率超短波）组件
科学测量和分析系统部件，例如气相色谱仪、电子扫描显微镜、质谱仪
光学基板，如透镜、棱镜、晶片、滤光片、掩膜......
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