针对特殊零部件尺寸、重量和几何形状的客户定制系统方案
适用于高吞吐量、并行处理或工艺解耦的多腔室及大腔室系统
成熟清洗技术的组合:喷淋与浸洗、注入式浸没清洗(IFW)、用于高洁净度要求的超声波工艺,以及适用于复杂内腔和微小孔道的真空辅助工艺(脉冲压力清洗 PPC)
基于溶剂的工艺,包括蒸汽脱脂和真空干燥
专门设计的介质、过滤与处理方案,以确保稳定的工艺质量
集成的手动、半自动及全自动上料与搬运解决方案
适用于批量生产和高端应用的可重复、可监控且可验证的工艺
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